1. Тоза кардани зарраҳои чанг дар ҳуҷраи тозаи хок
Вазифаи асосии ҳуҷраи тоза назорат кардани тозагӣ, ҳарорат ва намии атмосфера, ки маҳсулот (ба монанди микросхемаҳои кремний ва ғайра) ба онҳо дучор мешаванд, мебошад, то маҳсулот дар фазои хуби муҳити зист истеҳсол ва истеҳсол карда шаванд. Мо ин ҷойро ҳамчун ҳуҷраи тоза меномем. Тибқи таҷрибаи ҷаҳонӣ, сатҳи тозагӣ асосан аз рӯи миқдори зарраҳо дар як метри мукааби ҳаво, ки диаметраш аз стандарти таснифӣ зиёдтар аст, муайян карда мешавад. Ба ибораи дигар, ба истилоҳ, 100% чанг нест, балки дар як агрегати хеле хурд идора карда мешавад. Албатта, зарраҳое, ки ба стандарти хок дар ин стандарт мувофиқат мекунанд, дар муқоиса бо хоки маъмулии мо аллакай хеле хурд мебошанд, аммо барои сохторҳои оптикӣ ҳатто каме хок таъсири манфии хеле калон хоҳад дошт, аз ин рӯ, тоза кардани хок як талаботи ногузир дар истеҳсоли маҳсулоти сохтори оптикӣ мебошад.
Назорати шумораи зарраҳои чанг бо андозаи заррачаҳои аз 0,5 микрон дар як метри мукааб то камтар аз 3520/метри мукааб ба дараҷаи А стандарти байналмилалии тозагии чанг мерасад. Стандарти бидуни чанг, ки дар истеҳсол ва коркарди сатҳи чип истифода мешавад, нисбат ба синфи А нисбат ба хок талаботи баландтар дорад ва чунин стандарти баланд асосан дар истеҳсоли баъзе микросхемаҳои сатҳи баландтар истифода мешавад. Шумораи зарраҳои хок дар як метри мукааб 35,200 ба таври қатъӣ назорат карда мешавад, ки маъмулан ҳамчун синфи В дар саноати ҳуҷраи тоза маълум аст.
2. Се намуди ҳолати ҳуҷраи тоза
Ҳуҷраи тозаи холӣ: як ҳуҷраи тоза, ки сохта шудааст ва метавонад ба истифода дода шавад. Он дорои тамоми хидматҳо ва вазифаҳои дахлдор. Аммо дар объект ягон тачхизоте нест, ки операторхо идора мекунанд.
Ҳуҷраи тозаи статикӣ: як утоқи тоза бо вазифаҳои мукаммал, танзимоти дуруст ва насб, ки мумкин аст мувофиқи танзимот истифода шавад ё дар истифода аст, аммо дар иншоот ягон оператор вуҷуд надорад.
Хонаи тозаи динамикӣ: як ҳуҷраи тоза дар истифодаи муқаррарӣ, бо функсияҳои пурраи хидматрасонӣ, таҷҳизот ва кормандон; агар зарур бошад, кори муътадилро пеш бурдан мумкин аст.
3. Ҷузъҳои назорат
(1). Зарраҳои чанги дар ҳаво шинокунандаро нест карда метавонад.
(2). Метавонад тавлиди зарраҳои хокро пешгирӣ кунад.
(3). Назорати ҳарорат ва намӣ.
(4). Танзими фишор.
(5). Бартараф кардани газҳои зараровар.
(6). Гирифтани ҳавои сохторҳо ва қисмҳо.
(7). Пешгирии барқи статикӣ.
(8). Пешгирии дахолати электромагнитӣ.
(9). Баррасии омилҳои бехатарӣ.
(10). Баррасии сарфаи энергия.
4. Тасниф
Навъи ҷараёни турбулентӣ
Ҳаво аз қуттии кондитсионер ба воситаи канали ҳавоӣ ва филтри ҳаво (HEPA) дар ҳуҷраи тоза ворид мешавад ва аз панелҳои девори ҷудошуда ё фаршҳои баланд дар ҳарду тарафи ҳуҷраи тоза бармегардад. Ҷараёни ҳаво ба таври хаттӣ ҳаракат намекунад, балки ҳолати номунтазами ноором ё гирдобиро пешниҳод мекунад. Ин навъ барои синфҳои 1,000-100,000 ҳуҷраи тоза мувофиқ аст.
Муайян: Ҳуҷраи тозае, ки ҷараёни ҳаво бо суръати нобаробар ҷараён мегирад ва параллел нест, бо ҷараёни бозгашт ё ҷараёнҳои гирдобӣ ҳамроҳӣ мекунад.
Принсип: Ҳуҷраҳои тозаи пурталотум ба ҷараёни ҳавои таъминоти ҳаво такя мекунанд, то ҳавои дарунро пайваста обутоб кунанд ва ҳавои ифлосро тадриҷан об кунанд, то тозагӣ ба даст оранд (ҳуҷраҳои тозаи ноором одатан дар сатҳҳои тозагӣ аз 1,000 то 300,000 тарҳрезӣ шудаанд).
Хусусиятҳо: Ҳуҷраҳои тозаи ноором барои ба даст овардани сатҳи тозагӣ ва тозагӣ ба вентилятсияи сершумор такя мекунанд. Шумораи тағирёбии вентилятсия сатҳи тозакуниро дар таъриф муайян мекунад (ҳар қадаре ки вентилятсия тағйир ёбад, сатҳи тозагӣ баландтар мешавад)
(1) Вақти худтанзимкунӣ: ба вақте дахл дорад, ки утоқи тоза мувофиқи рақами вентилятсияи тарҳрезишуда ба таъмини ҳаво ба ҳуҷраи тоза шурӯъ мекунад ва консентратсияи чанг дар ҳуҷра ба сатҳи пешбинишудаи тозагии синфи 1000 мерасад, интизор меравад, ки на бештар аз 20 дақиқа (барои ҳисоб 15 дақиқа истифода бурдан мумкин аст) синфи 10,000 на бештар аз 30 дақиқа истифода бурда мешавад (дар назар аст) Интизор меравад, ки 100,000 на бештар аз 40 дақиқа бошад (30 дақиқа метавонад барои ҳисоб истифода шавад)
(2) Басомади вентилятсия (мувофиқи талаботи дар боло зикршудаи вақти худидоракунии тозакунӣ тарҳрезӣ шудааст) синфи 1,000: 43,5-55,3 маротиба / соат (стандарт: 50 маротиба / соат) синфи 10,000: 23,8-28,6 маротиба / соат (стандарт: 25 маротиба / соат) синф 1009, 014, 01, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0, 0,0, (стандарт: 15 маротиба/соат)
Афзалиятҳо: сохтори оддӣ, арзиши пасти сохтмони система, васеъ кардани ҳуҷраи тоза, дар баъзе ҷойҳои таъиноти махсус, курсии тозаи чангро барои беҳтар кардани дараҷаи ҳуҷраи тоза истифода бурдан мумкин аст.
Камбудиҳо: зарраҳои чанг, ки дар натиҷаи турбулентӣ ба вуҷуд омадаанд, дар фазои дохилӣ шино мекунанд ва холӣ кардан душвор аст, ки метавонанд маҳсулоти коркардро ба осонӣ олуда кунанд. Илова бар ин, агар система қатъ карда шавад ва баъд ба кор андохта шавад, аксар вақт барои ба даст овардани тозагии зарурӣ вақти зиёд лозим аст.
Ҷараёни ламинарӣ
Ҳавои ҷараёни ламинарӣ дар як хати рост ҳаракат мекунад. Ҳаво ба ҳуҷра тавассути филтр бо сатҳи фарогирии 100% ворид мешавад ва тавассути фарши баланд ё тахтаҳои тақсимкунӣ аз ҳарду ҷониб бармегардад. Ин намуд барои истифода дар муҳити тозаи ҳуҷра бо синфҳои баландтари ҳуҷраи тоза, одатан синфи 1 ~ 100 мувофиқ аст. Ду намуд вуҷуд дорад:
(1) Ҷараёни ламинарии уфуқӣ: Ҳавои уфуқӣ аз филтр ба як самт бароварда мешавад ва тавассути системаи ҳавои бозгашт дар девори муқобил бармегардад. Чанг ба берун бо самти ҳаво партофта мешавад. Умуман, ифлосшавӣ дар паҳлӯи поёноб ҷиддӣтар аст.
Афзалиятҳо: Сохтори оддӣ, метавонад дар муддати кӯтоҳ пас аз амалиёт устувор гардад.
Камбудиҳо: Арзиши сохтмон аз ҷараёни ноором баландтар аст ва фазои дарунӣ васеъ кардан осон нест.
(2) Ҷараёни ламинарии амудӣ: Шифти ҳуҷра пурра бо филтрҳои ULPA пӯшонида шудааст ва ҳаво аз боло ба поён дамида мешавад, ки метавонад тозагии баландтарро ба даст орад. Гарду ғуборе, ки дар ҷараёни раванд ё аз ҷониби кормандон ба вуҷуд меояд, бе таъсир ба дигар минтақаҳои корӣ зуд ба берун партофта мешавад.
Афзалиятҳо: Идоракунии осон, ҳолати устуворро дар муддати кӯтоҳ пас аз оғози амалиёт ба даст овардан мумкин аст ва ба ҳолати корӣ ё операторҳо ба осонӣ таъсир намерасонад.
Камбудиҳо: Арзиши баланди сохтмон, истифодаи фасеҳи фазо душвор аст, овезонҳои шифт фазои зиёдро ишғол мекунанд ва таъмир ва иваз кардани филтрҳо душвор аст.
Навъи таркиби
Навъи таркибӣ якҷоя кардан ё истифода бурдани намуди ҷараёни турбулентӣ ва намуди ҷараёни ламинарӣ мебошад, ки метавонад ҳавои ултра тозаи маҳаллиро таъмин кунад.
(1) Нақби тоза: Филтрҳои HEPA ё ULPA-ро барои пӯшонидани 100% майдони раванд ё майдони корӣ истифода баред, то сатҳи тозагӣ то аз Синфи 10 боло равад, ки ин метавонад хароҷоти насб ва истифодаро сарфа кунад.
Ин навъ талаб мекунад, ки майдони кории оператор аз маҳсулот ва нигоҳдории мошин ҷудо карда шавад, то ба кор ва сифат ҳангоми нигоҳдории мошин халал нарасонад.
Нақбҳои тоза ду бартарии дигар доранд: A. Ба осонӣ васеъ кардан ба таври фасеҳ; B. Нигоҳдории таҷҳизот метавонад ба осонӣ дар соҳаи нигоҳдории анҷом дода мешавад.
(2) Tube тоза: иҳота ва тоза кардани хати истеҳсоли худкор, ки ҷараёни маҳсулот аз он мегузарад, ва баланд бардоштани сатҳи тозагӣ ба боло аз синфи 100. Азбаски маҳсулот, оператор ва муҳити тавлидкунандаи хок аз ҳамдигар ҷудо, миқдори ками таъминоти ҳаво метавонад тозагии хуб, ки метавонад сарфаи нерӯи барқ ва барои хатҳои истеҳсолии автоматикунонидашуда, ки меҳнати дастӣ талаб намекунад, бештар мувофиқ аст. Он ба саноати дорусозӣ, хӯрокворӣ ва нимноқилҳо дахл дорад.
(3) Нуқтаи тоза: Сатҳи тозагии минтақаи коркарди маҳсулот дар утоқи тозаи ноором бо сатҳи утоқи тоза аз 10,000 ~ 100,000 барои мақсадҳои истеҳсолӣ то 10 ~ 1000 ё болотар зиёд карда мешавад; дастгоххои тоза, саройхои тоза, хонахои тозаи васлшаванда, гардеробхои тоза ба хамин категория дохил мешаванд.
Куртаи тоза: синфи 1 ~ 100.
Кабинаи тоза: Фазои хурде, ки бо матои шаффофи антистатикӣ дар фазои тозаи утоқи ноором иҳота шудааст, бо истифода аз HEPA ё ULPA мустақил ва агрегатҳои кондитсионер барои фазои тозаи сатҳи баландтар, бо сатҳи 10 ~ 1000, баландии тақрибан 2,5 метр ва майдони фарогирии тақрибан 10 м2 ё камтар. Он дорои чор сутун буда, бо чархҳои ҳаракаткунанда барои истифодаи чандир муҷаҳҳаз аст.
5. Ҷараёни ҳаво
Муҳимияти ҷараёни ҳаво
Ба тозагии ҳуҷраи тоза аксар вақт ҷараёни ҳаво таъсир мерасонад. Ба ибораи дигар гуем, харакат ва пахншавии чанги аз тарафи одамон хосилшаванда, циемхои мошинхо, конструкцияхои бинокорй ва гайра тавассути чараёни хаво идора карда мешавад.
Дар ҳуҷраи тоза барои филтр кардани ҳаво HEPA ва ULPA истифода мешавад ва суръати ҷамъоварии чанги он то 99,97 ~ 99,99995% баланд аст, бинобар ин метавон гуфт, ки ҳавои аз ин филтр филтршуда хеле тоза аст. Бо вуҷуди ин, дар ҳуҷраи тоза ба ғайр аз одамон, инчунин манбаъҳои чанг, ба монанди мошинҳо мавҷуданд. Пас аз паҳн шудани ин чангҳои тавлидшуда, нигоҳ доштани фазои тоза ғайриимкон аст, аз ин рӯ ҷараёни ҳаво бояд барои зуд холӣ кардани чанги тавлидшуда дар берун истифода шавад.
Омилҳои таъсиркунанда
Омилҳои зиёде ба ҷараёни ҳавои як ҳуҷраи тоза таъсир мерасонанд, аз қабили таҷҳизоти технологи, кормандон, масолеҳи васлкунии ҳуҷраи тоза, асбобҳои рӯшноӣ ва ғайра. Дар баробари ин, нуқтаи гардиши ҳаво дар болои таҷҳизоти истеҳсолӣ низ бояд ба назар гирифта шавад.
Нуқтаи интиқоли ҷараёни ҳаво дар рӯи мизи умумии амалиётӣ ё таҷҳизоти истеҳсолӣ бояд дар 2/3 масофаи байни фазои ҳуҷраи тоза ва тахтаи тақсимкунӣ муқаррар карда шавад. Ҳамин тариқ, ҳангоми кор кардани оператор, ҷараёни ҳаво метавонад аз даруни майдони коркард ба майдони амалиётӣ ҷорӣ шавад ва чангро хориҷ кунад; агар нуқтаи диверсификатсия дар назди майдони раванд танзим карда шавад, он ба диверсификатсияи ҷараёни ҳавои номувофиқ табдил меёбад. Дар ин вакт кисми зиёди чараёни хаво ба акибгохи участкаи процессхо чорй шуда, чанге, ки дар натичаи кори оператор ба амал омадааст, ба паси тачхизот бурда мешавад ва дастгох ифлос мешавад ва хосил ногузир кам мешавад.
Монеаҳо, ба монанди мизҳои корӣ дар утоқҳои тоза дар гузаргоҳ ҷараёнҳои гирдобӣ доранд ва тозагии назди онҳо нисбатан бад хоҳад буд. Пармакунии сӯрохии ҳавои бозгашт дар мизи корӣ падидаи ҷараёни гирдобиро кам мекунад; Оё интихоби маводи васлкунӣ мувофиқ аст ва оё тарҳбандии таҷҳизот комил аст, инчунин омилҳои муҳимест, ки ҷараёни ҳаво ба як падидаи ҷорӣ табдил меёбад.
6. Таркиби ҳуҷраи тоза
Таркиби ҳуҷраи тоза аз системаҳои зерин иборат аст (ҳеҷ кадоми онҳо дар молекулаҳои система ҳатмӣ нест), вагарна ташкили ҳуҷраи тозаи мукаммал ва босифат имконнопазир аст:
(1) Системаи шифт: аз ҷумла асои шифт, I-beam ё U-beam, шабакаи шифт ё чаҳорчӯбаи шифт.
(2) Системаи кондитсионер: аз ҷумла кабинаи ҳаво, системаи филтр, осиёб шамол ва ғайра.
(3) Девори қисмӣ: аз ҷумла тирезаҳо ва дарҳо.
(4) Ошёна: аз ҷумла фарши баланд ё фарши зидди статикӣ.
(5) Асбобҳои рӯшноӣ: лампаи ҳамвории тозакунандаи LED.
Сохтори асосии ҳуҷраи тоза одатан аз панҷараҳои пӯлодӣ ё сементи устухонӣ сохта шудааст, аммо новобаста аз он ки он чӣ гуна сохтор аст, он бояд ба шартҳои зерин ҷавобгӯ бошад:
A. Аз сабаби тағирёбии ҳарорат ва ларзиш ягон тарқишҳо ба амал намеоянд;
$ B. Истеҳсоли зарраҳои чанг осон нест ва барои пайваст кардани зарраҳо душвор аст;
C. Гигроскопии паст;
D. Барои нигоҳ доштани шароити намӣ дар ҳуҷраи тоза, изолятсияи гармидиҳӣ бояд баланд бошад;
7. Тасниф аз рӯи истифода
Хонаи тозаи саноатӣ
Идоракунии заррачаҳои беҷон объект аст. Он асосан ифлосшавии зарраҳои чанги ҳаворо ба объекти корӣ назорат мекунад ва дар дохили он умуман ҳолати фишори мусбӣ нигоҳ дошта мешавад. Он барои саноати дақиқи мошинсозӣ, саноати электронӣ (нимноқилҳо, микросхемаҳои интегралӣ ва ғайра), саноати аэрокосмикӣ, саноати кимиёи тоза, саноати энергияи атом, саноати маҳсулоти оптикӣ ва магнитӣ (CD, филм, истеҳсоли лента) LCD (шишаи булӯри моеъ), диски сахти компютер, истеҳсоли сари компютер ва дигар соҳаҳо мувофиқ аст.
Хонаи тозаи биологӣ
Асосан ифлосшавии заррачаҳои зинда (бактерияҳо) ва заррачаҳои беҷон (ғубор) ба объекти корӣ назорат мекунад. Онро метавон ба тақсим кард;
A. Ҳуҷраи тозаи умумии биологӣ: асосан ифлосшавии объектҳои микробӣ (бактериалӣ) -ро назорат мекунад. Дар айни замон, маводи дохилии он бояд ба эрозияи агентҳои гуногуни стерилизатсия тоб оварад ва дарунӣ умуман фишори мусбӣ кафолат медиҳад. Аслан, маводи дохилӣ бояд ба муолиҷаҳои гуногуни стерилизатсияи ҳуҷраи тозаи саноатӣ тоб оварда тавонанд. Мисолҳо: саноати фармасевтӣ, беморхонаҳо (ҳуҷраи ҷарроҳӣ, шӯъбаҳои стерилӣ), хӯрокворӣ, косметика, истеҳсоли маҳсулоти нӯшокӣ, лабораторияҳои ҳайвонот, лабораторияҳои физикӣ ва кимиёвӣ, стансияҳои хун ва ғайра.
B. бехатарии биологӣ ҳуҷраи тоза: асосан назорат ифлосшавии зарраҳои зинда объекти корӣ ба ҷаҳони беруна ва одамон. Фишори дохилӣ бояд бо атмосфера манфӣ нигоҳ дошта шавад. Намунаҳо: бактериология, биология, лабораторияҳои тоза, муҳандисии физикӣ (генҳои рекомбинантӣ, омодасозии ваксина)
Вақти фиристодан: феврал-07-2025