Меъёри ҳосили чип дар саноати истеҳсоли IC ба андоза ва шумораи зарраҳои ҳаво дар чип гузошташуда зич алоқаманд аст. Ташкилоти хуби ҷараёни ҳаво метавонад зарраҳои аз манбаи хок тавлидшударо аз ҳуҷраи тоза дур кунад, то тозагии ҳуҷраи тозаро таъмин кунад, яъне ташкили ҷараёни ҳаво дар ҳуҷраи тоза дар сатҳи ҳосили истеҳсоли IC нақши муҳим мебозад. Тарҳрезии ташкили ҷараёни ҳаво дар ҳуҷраи тоза бояд ба ҳадафҳои зерин ноил шавад: кам ё нест кардани ҷараёни гирдоби дар майдони ҷараён барои пешгирӣ кардани нигоҳ доштани зарраҳои зараровар; нигоҳ доштани градиенти мувофиқи фишори мусбӣ барои пешгирии ифлосшавии салиб.
Қувваи ҷараёни ҳаво
Мувофиқи принсипи ҳуҷраи тоза, қувваҳое, ки ба зарраҳо таъсир мерасонанд, қувваи масса, қувваи молекулавӣ, ҷалби байни зарраҳо, қувваи ҷараёни ҳаво ва ғайра мебошанд.
Қувваи ҷараёни ҳаво: ба қувваи ҷараёни ҳаво, ки дар натиҷаи интиқол, ҷараёни бозгашт, ҷараёни ҳавои конвексияи гармидиҳӣ, ҷунбиши сунъӣ ва дигар ҷараёнҳои ҳаво бо суръати муайян барои интиқоли зарраҳо ба амал меояд, дахл дорад. Барои назорати техникии муҳити тозаи ҳуҷра, қувваи ҷараёни ҳаво муҳимтарин омил аст.
Тачрибахо нишон доданд, ки дар харакати чараёни хаво заррахо харакати чараёни хаворо кариб бо суръати якхела пайравй мекунанд. Ҳолати зарраҳо дар ҳаво аз рӯи тақсимоти ҷараёни ҳаво муайян карда мешавад. Ҷараёни ҳавое, ки ба зарраҳои дарунӣ таъсир мерасонанд, асосан аз инҳо иборатанд: ҷараёни ҳавои таъминкунандаи ҳаво (аз ҷумла ҷараёни ҳавои аввалия ва ҷараёни ҳавои дуввум), ҷараёни ҳаво ва ҷараёни ҳавои конвексияи гармӣ, ки дар натиҷаи роҳ рафтани одамон ва ҷараёни ҳаво, ки дар натиҷаи амалиёти раванд ва таҷҳизоти саноатӣ ба вуҷуд меоянд. Усулҳои гуногуни таъмини ҳаво, интерфейсҳои суръат, операторҳо ва таҷҳизоти саноатӣ ва падидаҳои ба вуҷуд омада дар утоқҳои тоза ҳама омилҳое мебошанд, ки ба сатҳи тозагӣ таъсир мерасонанд.
Омилҳое, ки ба ташкили ҷараёни ҳаво таъсир мерасонанд
1. Таъсири усули таъмини ҳаво
(1). Суръати таъмини ҳаво
Барои таъмини гардиши якхелаи ҳаво, суръати интиқоли ҳаво бояд дар як ҳуҷраи тоза яктарафа бошад; минтақаи мурдаи сатҳи таъмини ҳаво бояд хурд бошад; ва пастшавии фишор дар ULPA низ бояд яксон бошад.
Суръати якхелаи интиқоли ҳаво: яъне нобаробарии ҷараёни ҳаво дар ҳудуди ±20% назорат карда мешавад.
Минтақаи камтари мурда дар сатҳи таъминоти ҳаво: на танҳо бояд майдони ҳамвории чаҳорчӯбаи ULPA кам карда шавад, балки муҳимтар аз ҳама, барои содда кардани чаҳорчӯбаи зиёдатӣ FFU модулиро қабул кардан лозим аст.
Барои таъмини гардиши амудии якҷонибаи ҳаво, интихоби коҳиши фишори филтр низ хеле муҳим аст, ки талафоти фишор дар филтр наметавонад аз худ дур шавад.
(2). Муқоиса байни системаи FFU ва системаи мухлиси ҷараёни меҳвар
FFU як воҳиди таъмини ҳаво бо вентилятор ва филтр (ULPA) мебошад. Пас аз он ки ҳаво аз ҷониби вентилятори марказгурези FFU ҷаббида мешавад, фишори динамикӣ дар канали ҳаво ба фишори статикӣ мубаддал мешавад ва аз ҷониби ULPA яксон дамида мешавад. Фишори таъмини ҳаво дар шифт фишори манфӣ аст, то ҳангоми иваз кардани филтр ягон чанг ба ҳуҷраи тоза нарезад. Таҷрибаҳо нишон доданд, ки системаи FFU аз ҷиҳати якрангии баромади ҳаво, параллелизми ҷараёни ҳаво ва индекси самаранокии вентилятсия аз системаи вентилятсияи меҳварӣ бартарӣ дорад. Сабаб дар он аст, ки параллелизми ҷараёни ҳаво дар системаи FFU беҳтар аст. Истифодаи системаи FFU метавонад ҷараёни ҳаворо дар ҳуҷраи тоза беҳтар ташкил кунад.
(3). Таъсири сохтори худи FFU
FFU асосан аз мухлисон, филтрҳо, дастгоҳҳои роҳнамои ҷараёни ҳаво ва ҷузъҳои дигар иборат аст. Филтри баландсифати ULPA кафолати муҳимтаринест, ки оё ҳуҷраи тоза метавонад ба тозагии зарурии тарроҳӣ ноил шавад. Маводи филтр инчунин ба якрангии майдони ҷараён таъсир мерасонад. Вақте ки ба васлаки филтр маводи филтри дағал ё лавҳаи ҷараёни ламинарӣ илова карда мешавад, майдони ҷараёни баромадро ба осонӣ яксон кардан мумкин аст.
2. Таъсири интерфейсҳои суръати гуногуни тозагӣ
Дар ҳамон як ҳуҷраи тоза, дар байни майдони корӣ ва минтақаи кории амудии ҷараёни якҷонибаи амудӣ, аз сабаби фарқияти суръати ҳаво дар баромади ULPA, дар интерфейс эффекти гирдоби омехта ба вуҷуд меояд ва ин интерфейс ба минтақаи гардиши ҳаво бо шиддатнокии баланди турбулентии ҳаво табдил меёбад. Зарраҳо метавонанд ба сатҳи таҷҳизот интиқол дода, таҷҳизот ва пластинкаҳоро ифлос кунанд.
3. Таъсири кормандон ва таҷҳизот
Вақте ки ҳуҷраи тоза холӣ аст, хусусиятҳои ҷараёни ҳаво дар ҳуҷра умуман ба талаботи тарҳ мувофиқат мекунанд. Пас аз ворид шудани таҷҳизот ба ҳуҷраи тоза, ҳаракати кормандон ва интиқол додани маҳсулот, дар ташкили ҷараёни ҳаво ногузир монеаҳо ба вуҷуд меоянд. Масалан, дар гушахои бар-часта ё канори тачхизот газ барои ба вучуд омадани минтацаи пурталотум равона карда мешавад ва моеъи дар минтака бударо газ ба осонй намебарад ва бо хамин боиси ифлосшавй мегардад. Дар баробари ин, аз сабаби кори муттасил сатхи тачхизот гарм мешавад ва градиенти харорат дар назди машина минтакаи аз нав рехтани обро ба вучуд меоварад, ки ин чамъшавии хиссачахоро дар минтакаи такроран зиёд мекунад. Дар баробари ин, ҳарорати баланд боиси ба осонӣ берун рафтани зарраҳо мегардад. Таъсири дугона мушкилии назорати умумии тозагии ламинарии амудиро бадтар мекунад. Чанг аз операторон дар утоқи тоза ба вафлиҳо дар ин минтақаҳои бозсозӣ хеле осон аст.
4. Таъсири ошёнаи њавои бозгашт
Вақте ки муқовимати ҳавои бозгашт, ки аз фарш мегузарад, фарқияти фишор ба вуҷуд меояд, то ҳаво ба самти муқовимати камтар равон шавад ва ҷараёни ҳавои якхела ба даст наояд. Усули маъмули тарроҳии ҳозиразамон истифодаи фаршҳои баланд аст. Вақте ки суръати кушодани ошёнаҳои баланд 10% аст, суръати ҷараёни ҳаво дар баландии кории ҳуҷра метавонад баробар тақсим карда шавад. Гайр аз ин, ба кори тозакунй барои кам кардани манбаи ифлосшавии фарш диккати чиддй додан лозим аст.
5. Ҳодисаи индуксионӣ
Падидаи ба истилоҳ индуксионӣ ба падидае дахл дорад, ки ҷараёни ҳаво дар самти муқобили ҷараёни якхела тавлид мешавад ва ғубори дар ҳуҷра тавлидшуда ё ғубори дар минтақаи ифлосшудаи ҳамшафат ба тарафи болои шамол ба вуҷуд омада, чанг метавонад чипро олуда кунад. Ҳодисаҳои эҳтимолии индуксия инҳоянд:
(1). Плитаи кӯр
Дар як ҳуҷраи тоза бо ҷараёни амудии якҷониба, аз сабаби буғумҳо дар девор, умуман плитаҳои калони кӯр мавҷуданд, ки дар ҷараёни бозгашти маҳаллӣ нооромӣ ба вуҷуд меоранд.
(2). Чароғҳо
Асбобҳои рӯшноӣ дар ҳуҷраи тоза таъсири бештар хоҳанд дошт. Азбаски гармии лампаҳои флуоресцентӣ боиси болоравии ҷараёни ҳаво мегардад, дар зери лампаҳои флуоресцентӣ ягон минтақаи турбулентӣ вуҷуд надорад. Умуман, лампаҳо дар ҳуҷраи тоза дар шакли ашк тарҳрезӣ шудаанд, то таъсири лампаҳо ба ташкили ҷараёни ҳаво кам карда шаванд.
(3.) Фосилаҳои байни деворҳо
Ҳангоми мавҷуд будани фосила байни қисмҳои дорои сатҳҳои гуногуни тозагӣ ё байни қисмҳо ва шифтҳо, ғубори минтақаи дорои талаботи пасти тозагӣ метавонад ба минтақаи ҳамшафати дорои талаботи баланди тозагӣ интиқол дода шавад.
(4). Масофаи байни мошин ва фарш ё девор
Агар фосилаи байни мошин ва фарш ё девор хеле хурд бошад, он боиси нооромшавии дубора мегардад. Бинобар ин дар байни тачхизот ва девор фосила гузоред ва дастгохро баланд кунед, то ки машина бевосита ба замин нарасад.
Вақти фиристодан: феврал-05-2025