Сатҳи ҳосилнокии чип дар саноати истеҳсолии IC бо андоза ва шумораи зарраҳои ҳаво ба чип зич алоқаманд аст. Ташкилоти хуби ҳавопаймо метавонад зарраҳоро аз манбаи хок аз ҳуҷраи тоза, яъне созмони ҳавопаймои обгузар дар утоқи тоза ба андозаи ҳосилнокии истеҳсоли ICLE дар утоқи тоза мебахшад. Тарҳрезии ташкилоти ҳавоӣ дар утоқи тоза бояд ба мақсадҳои зерин ноил шавад: Коҳиш ё рафъи Эдди ҷорӣ дар майдони ҷараён барои пешгирӣ кардани зарраҳои зараровар; Барои пешгирии ифлосшавии салоҳияти салоҳият.
Қувваи ҳавопаймоӣ
Тибқи принсипи ҳуҷраи тоза, қувваҳои дар зарраҳо амалҳои оммавӣ, нерӯи молекулавӣ, ҷалби байни зарраҳо, нерӯи ҳавопаймо ва ғайра мебошанд.
Қувваи ҳавопаймоии мавҷуда: ба қувваи ҳавопаймоӣ, ки аз боиси таҳвил ба вуҷуд омадааст, Educlefles Airflade Endowlows, шӯришҳои сунъӣ ва дигар садама бо суръати раванди муайян барои иҷрои зарраҳо. Барои назорати техникии муҳити тоза, нерӯи ҳавопаймоӣ омили муҳимтарин аст.
Таҷрибаҳо нишон доданд, ки дар ҷунбиши ҳавопаймоҳа зарраҳо ҳаракати ҳавопаймоиро қариб ҳамон суръат пайгирӣ мекунанд. Ҳолати зарраҳо дар ҳаво аз ҷониби тақсимоти ҳавопаймо муайян карда мешавад. Ҳавопаймоҳо, ки ба зарраҳои дарунӣ таъсир мерасонанд: Endowlflows imagerflow (аз ҷумла ҳавопаймои ибтидоӣ (аз ҷумла ҳавопаймоии ибтидоӣ), ки дар натиҷаи амалиёт ва таҷҳизоти саноатӣ рух додааст, Edvencload. Усулҳои гуногуни таъминот, интерфейсҳо, интерфейсҳо, операторҳо ва таҷҳизоти саноатӣ ва зуҳуроти саноатӣ, ки дар утоқҳои тоза таъсир мерасонанд, мебошанд.
Омилҳое, ки ба ташкилоти ҳавопаймо таъсир мерасонанд
1. Таъсири усули таъминоти ҳаво
(1). Суръати ҳаво
Барои таъмин кардани ҳавопаймои ягона, суръати таъминоти ҳаво бояд дар як ҳуҷраи тоза тоза бошад; Минтақаи истиқоматии сатҳи ҳаво бояд хурд бошад; ва тарки фишор дар улкт низ бояд яксон бошад.
Суръати таъминоти ҳаво: яъне аз он иборат аст, ки нобаробарии ҳавопаймоӣ дар дохили ± 20% назорат карда мешавад.
Минтақаи камтар дар сатҳи ҳавопаймо: На танҳо майдони ҳавопаймои чаҳорчӯбаи inpa кам карда мешавад, аммо муҳимтар аз ҳама, ФФД-и моддашавӣ бояд барои содда кардани чорчӯбаи иловагӣ қабул карда шавад.
Барои таъмини ҳавопаймои куллӣ, интихоби фишори фишори фишурдани филтр инчунин хеле муҳим аст, ки талаб мекунад, ки талафоти фишанг дар филтр фарқ кунад.
(2). Муқоиса Байни системаи FFU ва Системаи мухлиси Фан
FFU як воҳиди таъминоти ҳаво бо мухлиси ва филтр (ULSA) мебошад. Пас аз он, ки ҳаво бо мухлиси cfu cfu коҳиш ёфтааст, фишори динамикӣ ба фишори статикӣ дар канали ҳавоӣ табдил дода мешавад ва ба таври қатъӣ аз ҷониби ULSA. Фишори ҳаво ба шифт фишори манфӣ аст, бинобар ин, вақте ки филтр иваз карда намешавад, хок ба ҳуҷраи тоза мерезад. Таҷрибаҳо нишон доданд, ки системаи FFU аз системаи шири Акси Фишер аз ҷиҳати саводари ҳавопаймоии Achlish Schort аст, индекси мувозинатҳои ҳавоӣ ва вентилятсия бартарӣ дорад. Ин аст, ки параллаи ҳавопаймоии системаи FFU беҳтар аст. Истифодаи системаи FFU метавонад ҳавопайморо дар ҳуҷраи тоза созад.
(3). Таъсири сохтори худи FFU
FFU асосан аз мухлисон, филтрҳо, дастгоҳҳои роҳнамои ҳавопаймоӣ ва дигар ҷузъҳо иборат аст. ULPA-ҳретии ULTRA-SEREAL ULTRA-Баҳри Бузург кафолати аз ҳама муҳимест, ки оё ҳуҷраи тоза метавонад ба тозагии ҳатмии тарроҳӣ ноил шавад. Маводи филтр инчунин ба якрангии майдони ҷараён таъсир хоҳад кард. Вақте ки маводи доғе ё як табақи ҷористи заминар ба хушкии филтр илова карда мешавад, майдони ҷараёни кушода метавонад ба осонӣ яксон карда шавад.
2. Таъсири интерфейсҳои гуногуни суръати тозагӣ
Дар як ҳуҷраи тоза, дар байни минтақаи корӣ ва минтақаи ғайритиволи ҷараёни амудии ҷористие, ки дар интерфейсияи лерпа, самараи омехта дар интерфейс сохта мешавад, ба интерфейс тавлид хоҳад шуд ва ин интерфейс ғавғо мешавад Минтақаи ҷараёни ҳаво бо шиддатнокии ҳаво махсусан баланд. Зарраҳо метавонанд ба рӯи таҷҳизот интиқол дода шаванд ва таҷҳизотро ифлос кунанд.
3. Таъсири кормандон ва таҷҳизот
Вақте ки ҳуҷраи тоза холӣ аст, хусусиятҳои ҷараёни ҳаво дар ҳуҷра одатан ба талаботи тарроҳӣ мувофиқат мекунанд. Пас аз он, таҷҳизот ба утоқи тоза ворид мешавад, фароҳам меорад ва маҳсулоти маҳсулот интиқол дода мешавад, ногузир саривақт монеаҳо ба ташкилоти равон монеъ намешаванд. Масалан, дар кунҷҳо ё кунҷҳои таҷҳизот, газ тақсим карда мешавад ва моеъи минтақа аз ҷониби газ ба осонӣ гирифта намешавад ва ба ин васила ифлос намешавад. Ҳамзамон, сатҳи таҷҳизот бо сабаби амалиёти пайваста гарм карда мешавад ва градиантҳои ҳарорат боиси минтақаи инъикос хоҳад шуд, ки дар наздикии мошин ҷамъшавии зарраҳои минтақаи тавсеа меафзояд. Дар айни замон, ҳарорати баланд ба осонӣ зарраҳоро ба даст меорад. Таъсири дугона душвориҳои назорати тозагии амудии дастгоҳи амудии амудӣ шиддат мегирад. Хок аз операторон дар утқи тоза ба wachers дар ин минтақаҳои инъикос хеле осон аст.
4. Таъсири ошёнаи ҳавои бозгашт
Вақте ки муқовимат ба даст овардани ҳаво аз фарш гуногун аст, фарқияти фишор ба даст оварда мешавад, то ҳаво ба самти муқовимати камтар ҷараён хоҳад шуд ва таҷҳизоти ягона ба даст хоҳад омад. Усули маъмули тарроҳии ҷорӣ истифодаи ошёнаҳои баланд аст. Вақте ки сатҳи кушодани ошёнаи баландтар 10% аст, суръати ҳавопаймоҳо дар баландии кории ҳуҷра метавонад ба таври назаррас тақсим карда шавад. Илова бар ин, ба таври қатъӣ бояд барои тоза кардани кор барои коҳиш додани манбаи ифлосшавии ошёна пардохта шавад.
5
Падидаи индукона ба зуҳуроти баҳодиҳӣ ишора мекунад, ки ҳавопаймо ба самти муқобилати ҷараёни ягона тавлид мешавад ё хок дар ҷои ифлосшудаи ҳамсоя ба тарафи наздиктар ба паҳлӯи боло бурда мешавад, то хок метавонад чипро ифлос кунад. Дар зер Phaducena эҳтимолии мурофиа:
(1). Зарфи нобино
Дар утоқи тоза бо ҷараёни амудии ғайрирасмӣ, аз буғумҳо дар девор, умуман зарфҳои калони ҷараёни маҳалли маҳаллӣ мавҷуданд.
(2). Лампаҳо
Чароғҳои равшанидиҳанда дар ҳуҷраи тоза таъсири бештаре хоҳанд дошт. Азбаски гармии лампаҳои байтайн ба афзоиш мегардад, дар зери лампаҳои флюнесент ҳеҷ гуна минтақаи пуртнопазир вуҷуд нахоҳад дошт. Умуман, чароғҳо дар ҳуҷраи тоза дар шакли ашк таҳия карда мешаванд, то таъсири чароғҳоро дар ташкилоти ҳавопаймо коҳиш диҳанд.
(3.) Гулҳо байни деворҳо
Вақте ки холигоҳҳо дар байни қисмҳо бо сатҳи гуногуни тозагӣ ё саривақтҳо, хокҳо аз минтақа мавҷуданд, ки талаботи камшуморро ба қитъаҳои ҳамсоя бо талаботи тозакунандаи баланд интиқол дода мешавад.
(4). Масофа байни мошин ва девор масофа
Агар фарқият байни мошин ва девор хеле хурд бошад, он боиси сӯзанкашии сангин аст. Аз ин рӯ, фарқиятро дар байни таҷҳизот ва девор гузоред ва мошинро бардошта, онро нагиред, то ки мошинро мустақиман ламс накунад.
Вақти почта: Feb-05-2025