Ба ҳифзи муҳити зист, бахусус бо афзоиши ҳавои туманнок, таваҷҷӯҳи бештар зоҳир карда мешавад. Муҳандисии тозагии ҳуҷра яке аз чораҳои ҳифзи муҳити зист аст. Чӣ гуна аз муҳандисии тозагии ҳуҷра барои иҷрои кори хуб дар ҳифзи муҳити зист истифода бурдан мумкин аст? Биёед дар бораи назорат дар муҳандисии тозагии ҳуҷра сӯҳбат кунем.
Назорати ҳарорат ва намӣ дар ҳуҷраи тоза
Ҳарорат ва намӣ дар фазоҳои тоза асосан аз рӯи талаботи раванд муайян карда мешаванд, аммо ҳангоми иҷрои талаботи раванд, бояд роҳати инсон ба назар гирифта шавад. Бо беҳтар шудани талаботи тозагии ҳаво, тамоюли сахттар шудани талабот ба ҳарорат ва намӣ дар раванд мушоҳида мешавад.
Ҳамчун принсипи умумӣ, бо сабаби афзоиши дақиқии коркард, талабот ба диапазони тағйирёбии ҳарорат камтар ва камтар мешавад. Масалан, дар раванди литография ва экспозитсияи истеҳсоли микросхемаҳои интегралии миқёси калон, фарқияти коэффитсиенти васеъшавии гармӣ байни пластинаҳои шишагӣ ва кремний, ки ҳамчун маводи ниқоб истифода мешаванд, торафт камтар мешавад.
Вафли силиконӣ бо диаметри 100 мкм ҳангоми баланд шудани ҳарорат ба 1 дараҷа боиси васеъшавии хаттии 0,24 мкм мегардад. Аз ин рӯ, ҳарорати доимии ± 0,1 ℃ зарур аст ва арзиши намӣ одатан паст аст, зеро пас аз арақкунӣ маҳсулот олуда мешавад, хусусан дар устохонаҳои нимноқилҳое, ки аз натрий метарсанд. Ин намуди устохона набояд аз 25 ℃ зиёд бошад.
Намӣ аз ҳад зиёд боиси мушкилоти бештар мегардад. Вақте ки намӣ аз 55% зиёд мешавад, дар девори қубури оби хунуккунӣ конденсатсия пайдо мешавад. Агар он дар дастгоҳҳо ё схемаҳои дақиқ рух диҳад, он метавонад боиси садамаҳои гуногун гардад. Вақте ки намӣ аз 50% зиёд аст, занг задан осон аст. Илова бар ин, вақте ки намӣ аз ҳад зиёд баланд аст, чанги ба сатҳи пластинаи кремний часпида тавассути молекулаҳои об дар ҳаво ба таври кимиёвӣ дар рӯи он адсорбсия мешавад, ки хориҷ кардани он душвор аст.
Ҳар қадар намӣ нисбӣ баландтар бошад, ҳамон қадар бартараф кардани часпак душвортар мешавад. Аммо, вақте ки намӣ нисбӣ аз 30% камтар аст, зарраҳо низ аз сабаби таъсири қувваи электростатикӣ ба осонӣ дар рӯи замин адсорбсия мешаванд ва шумораи зиёди дастгоҳҳои нимноқилӣ ба вайроншавӣ майл доранд. Диапазони оптималии ҳарорат барои истеҳсоли вафли кремний 35-45% аст.
Фишори ҳавоназоратдар утоқи тоза
Барои аксари фазоҳои тоза, барои пешгирӣ аз воридшавии ифлосшавии беруна, нигоҳ доштани фишори дохилӣ (фишори статикӣ) нисбат ба фишори беруна (фишори статикӣ) баландтар зарур аст. Нигоҳ доштани фарқияти фишор одатан бояд ба принсипҳои зерин мувофиқат кунад:
1. Фишор дар фазоҳои тоза бояд нисбат ба фазоҳои ғайритоза баландтар бошад.
2. Фишор дар фазоҳое, ки сатҳи баланди тозагӣ доранд, бояд нисбат ба фазоҳои ҳамшафат бо сатҳи пасти тозагӣ баландтар бошад.
3. Дарҳои байни утоқҳои тоза бояд ба сӯи утоқҳое, ки сатҳи баланди тозагӣ доранд, кушода шаванд.
Нигоҳ доштани фарқияти фишор аз миқдори ҳавои тоза вобаста аст, ки бояд қодир бошад ихроҷи ҳаворо аз фосила дар зери ин фарқияти фишор ҷуброн кунад. Пас, маънои физикии фарқияти фишор муқовимати ҷараёни ихроҷ (ё воридшавӣ)-и ҳаво тавассути фосилаҳои гуногун дар ҳуҷраи тоза аст.
Вақти нашр: 21 июли соли 2023