Ба мухофизати мухити зист, махсусан дар баробари афзудани хавои туман бештар диккат дода мешавад.Муҳандисии ҳуҷраи тоза яке аз тадбирҳои ҳифзи муҳити зист мебошад.Чӣ тавр истифода бурдани муҳандисии ҳуҷраи тоза барои кори хуб дар ҳифзи муҳити зист?Биёед дар бораи назорат дар муҳандисии ҳуҷраи тоза сӯҳбат кунем.
Назорати ҳарорат ва намӣ дар ҳуҷраи тоза
Ҳарорат ва намии ҷойҳои тоза асосан дар асоси талаботи раванд муайян карда мешаванд, аммо ҳангоми қонеъ кардани талаботи раванд, бароҳатии инсон бояд ба назар гирифта шавад.Бо такмил додани талабот ба тозагии ҳаво, тамоюли талаботҳои сахттар ба ҳарорат ва намӣ дар раванд вуҷуд дорад.
Ҳамчун принсипи умумӣ, бинобар афзоиши дақиқии коркард, талабот ба диапазони тағирёбии ҳарорат хурдтар ва хурдтар мешавад.Масалан, дар раванди литография ва экспозитсияи истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ, фарқияти коэффисиенти васеъшавии гармӣ байни вафли шиша ва кремний, ки ҳамчун маводи ниқоб истифода мешаванд, торафт хурдтар мешавад.
Вафли кремнийи диаметраш 100 мкм хангоми 1 дарача баланд шудани харорат боиси васеъшавии хаттии 0,24 мкм мегардад.Аз ин рӯ, ҳарорати доимии ± 0,1 ℃ зарур аст ва арзиши намӣ умуман паст аст, зеро пас аз арақ, маҳсулот ифлос мешавад, махсусан дар устохонаҳои нимноқил, ки аз натрий метарсанд.Ин намуди коргоҳ набояд аз 25 ℃ зиёд бошад.
Рутубати аз ҳад зиёд боиси мушкилоти бештар мегардад.Вақте ки намии нисбӣ аз 55% зиёд мешавад, дар девори қубури оби хунуккунӣ конденсат пайдо мешавад.Агар он дар дастгоҳҳои дақиқ ё схемаҳо рух диҳад, он метавонад боиси садамаҳои гуногун гардад.Вақте ки намии нисбӣ 50% аст, занг задан осон аст.Илова бар ин, вақте ки намӣ аз ҳад зиёд баланд аст, ғубори ба рӯи пластинкаи кремний часпидашуда тавассути молекулаҳои об дар ҳаво ба таври кимиёвӣ адсорб мешавад, ки тоза кардани он душвор аст.
Ҳар қадар намии нисбӣ баланд бошад, бартараф кардани адгезия ҳамон қадар мушкилтар мешавад.Аммо дар сурати аз 30% камтар будани намии нисбї заррачањо низ аз таъсири ќувваи электростатикї ба осонї дар рўи сатњ адсорбсия мешаванд ва шумораи зиёди дастгоњњои нимноќил ба вайрон шудан майл доранд.Диапазони ҳарорати оптималии истеҳсоли вафли кремний 35-45% аст.
Фишори ҳавоназоратдар ҳуҷраи тоза
Барои аксари ҷойҳои тоза, барои пешгирии ифлосшавии беруна аз ҳуҷум, нигоҳ доштани фишори дохилӣ (фишори статикӣ) аз фишори беруна (фишори статикӣ) зарур аст.Нигоҳ доштани фарқияти фишор бояд одатан ба принсипҳои зерин мувофиқат кунад:
1. Фишор дар ҷойҳои тоза бояд аз фишор дар ҷойҳои ғайри тоза баландтар бошад.
2. Фишор дар ҷойҳое, ки сатҳи тозагии баланд доранд, бояд аз фишор дар ҷойҳои ҳамшафати сатҳи тозагии паст баландтар бошад.
3. Дарҳои байни утоқҳои тоза бояд ба сӯи ҳуҷраҳое, ки сатҳи тозагии баланд доранд, кушода шаванд.
Нигоҳ доштани фарқияти фишор аз миқдори ҳавои тоза вобаста аст, ки бояд иҷозаи ихроҷи ҳаворо аз холигоҳ дар зери ин фарқияти фишор ҷуброн кунад.Ҳамин тавр, маънои физикии фарқияти фишор муқовимати ҷараёни ҳаво (ё инфилтратсия) тавассути холигоҳҳои гуногун дар ҳуҷраи тоза мебошад.
Вақти фиристодан: июл-21-2023